427章 低轨道通信卫星项目！（1/2）

“李院长，另外我们在这种120纳米波长的光刻机设备上已经取得了突破，目前这种技术只有我们国内掌握，不过要想让这种光刻机设备真正地投入产业运用，还需要金山分院这边一起在光刻胶产品和光刻掩模技术研发上一起努力。”

周晓东对李绵红说道。

“啊，你们在光刻机设备上已经取得了这么大的进展？！”

李绵红惊喜地说道。

“这样的原型机设备要在今年下半年才能出来，不过现在不管是国内还是国外都没有这种光刻胶产品，光刻掩模版都没有，需要我们国内自己研制出来。”

“好呀！”

李绵红一拍双手，欣喜地说道：“这对我们国内半导体产业来说是一次重大的机会，一定把握住！”

他看着周晓东说道：“这样，你们的这种光刻机设备原型机一出来后金山分院这边马上采购两套过来进行光刻胶产品和光刻掩模版方面的研发工作！”

李绵红此时抬了抬鼻梁上的眼镜，对周晓东说道：“这种120纳米波长的光刻机设备你们可以将半导体芯片制程工艺推进到哪一步？”

“从理论上上来说，这种光刻机光源加上我们研制的浸没式装置技术的话可以将波长缩短到84纳米，是完全可以将制程工艺推进到5纳米以下。”

周晓东开口说道：“当然，这个还需要我们在光刻机镜头组的光学加工工艺技术跟得上，我们公司现在才堪堪追上国外最先进的光学器件加工工艺技术和检测设备，加工出了光学数值孔径超过1.1的镜头组。”

“目前我们还要继续在光刻机镜头组的加工精度和工件台运动精度误差上继续努力，才能满足更先进的制程工艺向前推进，技术难度相当大。”

“光刻机设备是半导体设备产业中皇冠上的明珠，今天你们能做到这个程度已经是奇迹了。”

李绵红看着周晓东说道：“我原本是想让金山分院这边也研制光刻机设备的，不过既然你们已经做到了这个程度，让我改变了想法，如果这边再研制光刻机项目的话，势必会造成技术资源的重复浪费，还不如全力支持你们在这个极为高端的设备上跟国外的几家产商进行抗衡，中科院这边做好光刻机设备子系统部件供应链的工作。”

“那太好了！”

周晓东欣喜地说道。

李绵红近期才升任中科院副院长，负责全院高技术研究所的研究与发展工作，此时他主动地提出由中科院来建设国内光刻机设备产业链的事情比起周晓东自下而上地推动效果当然要好得多。

周晓东自身为了搞光刻机设备的事情那是搞得自己集团公司技术研发团队十分辛苦的，压力非常大，中科院方面现在动用自身的技术资源来承担更多光刻机设备子系统的研制工作可以说是大幅减轻了自身的研发重担，今后的自己的公司的研发工作主要就集中在几个核心关键系统的研发和系统集成技术方面，研发进度还能更进一步。

李绵红看着周晓东说道：“我听说你的集团公司为了研制光刻机设备不得不自己动手研制设备需要的各种子系统部件，你愿意将这些子系统部件技术和订单转交给金山分院这边？”