418章 收获果实！（1/2）

“钟总，想不到你们这么快就把这种氟化氩光刻机需要的镜片研制出来了。”

张京汝此时一脸震惊地对钟保国说道。

“其实国内中科院多年之前研发出了适合深紫外光的波段频谱的光电晶体材料，只不过一直没能走出实验室，我们将这方面的技术专利买了过来重新进行了改进研发，总算是研发出了出了能够匹配120纳米波长激光光源的镜片镀膜材料和镀膜工艺技术。”

钟保国开口说道。

“120纳米波长的激光光源？”

张京汝更加吃惊：“我只听说康尼精机那边研制出了157纳米的光刻机光源系统，没想到我们自己竟然研发出了更短波长的激光光源系统和镜头组！”

他当然知道光刻机光源能够使用的波长做得越小越好，不过这其中的技术难度是极大的，从激光光源系统里面挑选出需要特定波长频谱光源的光栅系统并且能够承受大功率激光光源照射且不受损伤就已经极为困难了，匹配这种光源系统的镜头组要重新进行设计，并且镜片表面抛光精度要达到极高的水平，镀膜材料的镀膜工艺技术难度之大也是超乎想象。

不过现在集团公司这边硬是攻克了下来！

“这个还是要感谢中科院在激光晶体材料上面的巨大贡献，不客气的说，国内在激光晶体材料上的基础理论研究和制备工艺技术上是世界领先的。”

周晓东笑着说道：“我们集团公司在这个上面是占了大便宜的，要是没有国内在这个技术领域数十年的技术积累，我们的研发进展也不会这么快。”

玄思科技公司现在集中了国内至少一少半以上光电激光技术方面的技术大拿，从事着从光电晶体材料到光电器件设计加工到光电产品终端方面的研制工作，并且还在不断地招募国内外技术研发人才。

另外玄思科技公司这边招募到了像李一凡教授这样从事磁流变和等离子抛光这些超高精密加工设备的技术研发团队。

并且周晓东在这些上面投入的研发经费那是一年比一年高，再加上旗下的技术研发团队非常拼命，没日没夜地进行高强度的技术攻关，在不到三年的时间里面终于是攻克了这种120纳米波长激光光源系统和配套的镜片产品。

“周先生，我们争取在今年上半年将光刻机需要的镜头组系统完成总装生产工作。”

钟保国向周晓东说道。

周晓东点点头，按照这个进度，今年这种120纳米激光光源沉浸式光刻机设备原型机还是能搞出来的。

“周先生，看样子智芯科技公司这边也要围绕着这种光刻机设备启动光刻工艺技术方面的研发工作了。”

张京汝此时兴奋地说道。