253章 基础研究！（2/2）

周晓东旗下的几家公司都是成立了专门的技术部门对自身需要的这些设备进行一边进行拆解分析仿制，一边将剩下的半导体设备进行翻新维修自己使用。

现在岭南省这边的多座晶圆生产线相当大一部分设备都是雪球半导体科技公司弄回来的，少量是从半导体设备产商直接采购的，可以说让岭南省这边投资建设的多座晶圆生产线节省了相当大的一笔开支。

现阶段能让周晓东优先的目标是通过这种采购二手设备的方式来绕开瓦森纳协议的束缚，既然买不到最新的半导体设备，那就大量买二手设备回来自己动手进行翻新维修和升级改造以及仿制。

活人怎么可能让尿给憋死，周晓东让下面的技术人员对这些二手设备里面的关键系统部件进行仿制才不会理会什么技术专利，造出来的设备到时候能顶得上去就行，好不好用以后再不断升级优化就行。

而周晓东成立这些汞灯光源系统以及电子束系统和离子源系统技术研发部门就是为了攻克这些半导体设备关键系统部件在材料工艺技术以及器件设计原理和加工工艺技术方面的技术难题。

杨力持在实验室见到这些技术专家带着技术团队在实验室生产线自己动手研制这种超高压新型的汞灯光源系统。

“领导，一台高性能的高功率汞灯光源系统最主要的是具备非常可靠的高圧点火线路和超高精度的功率控制，为了延长这种高压汞灯的使用寿命，我们专门开发了汞灯电源控制模块，另外在汞灯各种材料和设计上进行技术攻关，研发的目标是要得到稳定度极高的光强……”

周晓东笑着向杨力持介绍着。

“要达到这个目标技术难度不小吧？”

“确实是难度很大，不过为了为了研制出更好的光刻机设备，我们必须把所有的技术细节都做到最好，这个是没办法偷懒的事情。”

杨力持见到周晓东为了研制更好的光刻机设备如此下苦功夫，心中颇为触动，点头道：“我听说国外已经研发出了更先进的氟化氩光源系统，你们现在在这种汞灯光源系统上如此下功夫，不怕技术落后，投入进去的钱收不回来？”

周晓东开口说道：“领*导，这种光源系统用到的一些通用技术同样是用到其他光源系统上面的，另外我们在光刻机设备上采用了新设计和新技术，采用这种光源系统的光刻机设备可以使用让我们的制程工艺最大程度能做到一百纳米的样子，足够让我们国内的晶圆生产线工艺技术继续向前提升个两三代，可以给我们国内更先进的光刻机设备换来六七年的研发时间。”