第866章（1/2）

万千的目光再一次刷地射向了山上一郎。

但他毫不在乎。

一个天才的设计方案？就能把arf193nm的波长变成134nm？

闹着玩呢这是？

台上，苏远山也在看着山上一郎，他知道这位老兄进尼康就在磨玻璃，对光源系统极为熟悉——反正苏远山在光学领域，在对方面前就是小学生级别。

但苏远山毫不在乎，也很能理解山上一郎为什么会在这种场合失态。

别说现在猛地听到远芯保密了三四年的技术，就算是历史上，当林本坚拿着详细的论证找上门的时候，尼康佳能都没正眼看人家一眼，并认为这家伙纯粹就是个疯子，让台积电好好管一管，找点药给他吃。

也就是asml当时人小势微，虽然被intel拉着进了euv联盟画了大饼，但在市场上，依旧不敌霓国人，必须弯道超车才能赢得了的样子……所以最终才选择了信任林本坚。

但苏远山也并没有回答山上一郎。

因为他看到，和山上一郎只隔着一个作为的李明柳已经看了过去。

“immersion。”李明柳身子前倾了一点，把自己暴露在了山上一郎的视线中，并给出了个英文单词。

“什么？”听到声音，山上一郎瞬间转头望向李明柳。

“immersion，浸润式光刻。”在远芯诸多技术大佬中，李明柳向来以严肃著称，常年执掌远芯第二大研发基地的他如今身上早就多了几分所谓的“威严”，凡事喜欢点到为止，不想说过多。

惜字如金的两句后，李明柳便恢复了坐姿。

台上，苏远山也只是一笑：“消息我是带到了，信不信那就……好吧，其实我是相信的。”

说完后，苏远山离开讲台，对台下微微鞠躬，然后退场。

直到这时，就如同一盆冰水上丢了一坨烧红的铁块，整个会场瞬间便沸腾了起来。

——和霓国人不一样，国内半导体行业对苏远山有着近似迷信一般的信赖，在先前短暂的懵懂状态后，此刻立刻陷入了兴奋和激动中，会场刹那间便变成了菜市场。

李明柳的声音说得并不大，靠后的与会人员并不能听清，但不妨碍他们挨个拍着前排的肩膀一路问下来。

在一片嘈杂中，山上一郎重新坐了下来。

他脑子慢慢恢复了清醒。

他理智上无法接受，但理智又告诉他，这……极有可能是真的。

因为苏远山，没有必要在这个时候这个场合来骗人。

——因为一旦被证实是假消息，那么非但是苏远山个人的声誉，宏芯的声誉，乃至整个内地半导体行业的声誉，都将受到毁灭性的倒塌。

浸润式光刻？

难道放水里？

疯了吧！

这时，苏远山的声音透过几个座位慢慢传来。

“通过在镜头与衬底之间加入于玻璃折射率接近的水，减小物镜射出的光折射角，从而提升物镜的孔径，提高分辨率。根据cd=k1*λ/na，用水替代空气后，就相当于193nm波长等效缩短到134nm。”

“而且……它不需要重新研制光刻胶。”

苏远山看着在自己身旁围成一圈的众人，嘴角微微一翘。