第855章 锦衣夜行（1/2）

换上全套防尘装备，穿过风淋室，一群全身上下裹得严严实实的工程师早已站成两排等在面前。

苏远山看着胸卡，认出了戴着口罩的庞克明他在成光所时代便是郑振川的“徒弟”，如今郑振川虽然还活跃在技术一线，但毕竟是当老总的人，精力难以为继。所以便把攻克难关的任务交给了庞克明。

而且按照宏芯的计划，在完成浸润式光刻的攻克后，庞克明将就地在沪市建立分厂。

毕竟，作为工业和出口重镇，沪市比起省城的优势确实大不少，更重要的是，沪市这边有德远总部。今后如果不出意外，省城这边的总部将更多会保留科研单位，进行技术攻关，而装配工作会逐渐转移到沪市这边。

“庞工。”

“山总，我懒得再防尘服，就没出来，你没见怪吧？”

“呵呵，没有没有，大家辛苦了。”苏远山一边和众人打着招呼，一边望向前方不远处的“大机柜”。

很好，看来确实是万事俱备，只欠自己这场东风了。

“在诸位领导的……”庞克明带着苏远山走向光刻机，他看了眼跟在苏远山身后的几位大佬，笑着替苏远山介绍道。

“庞工，捡重点说。”苏远山目不转睛地盯着光刻机，听到庞克明要搞这种形式主义，马上摆手：“多久能进厂？”

庞克明便看到，一干人的脸上都露出了笑意，他也轻轻咳了一声，笃定地道：“现在就可以进厂。”

“哦？意思是，现在就能量产了？”苏远山转身看着庞克明，很有几分迟疑他一直关注着这边团队的进度，是以对光刻机参数了如指掌，压根不需要庞克明介绍。

他最看重的，还是何时能够量产。

原型机和量产机，那真的是有区别的。

“在设计之初，我们就考虑到了量产的问题。”庞克明笑着答道：“当然，现在就说能接订单量产那肯定有些吹牛皮，不过让这台原型机进厂跑起来，然后提供维护的方案，我们肯定是有的。”

苏远山又转头看着林本坚等人，只见这老几位虽然带着口罩，但也都眼角含笑，心中便知道庞克明所言非虚，当下便哈哈一笑，喜上眉梢。

“不错，不错！走，我看一眼测试。”

“好的，而且为了测试，我们还发明了一种专门用于光刻机测试的掩膜版和工序，它包括了套刻测试图形和参数计算公式。”

庞克明示意下属开始演示。

“山总，传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版，即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形，在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据，然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距。我们这个算是一步到位，简单方便，啪的一闪，就能直接得出光刻机的参数了。”

“嗯，不错！”苏远山再次点头。

……

……

两小时后，苏远山几乎是一路飘着走出了无尘室。

作为宏芯的代表，庞克明这次就不能再捡懒了，他也和林本坚，赵凯东，梁孟松等一起进入了会议室。

“客套话我就不说了，意义我也不重复了，论功行赏什么的……”苏远山见众人都笑了起来，他也呵呵一笑：“咱们要低调点，不能抢了上面的风头。”

“意思是，我们还要等上面验收？”庞克明看着苏远山，试探性地问道。

苏远山微微一笑，点了点头：“虽然咱们早就过了验收报喜的阶段，而且我们也没有拿国家的钱，不需要上头来检查什么的，更不需要对上面负责……但该给的面子还是要给嘛。”

在座几人纷纷点头。

纵然大家都是一心搞技术的工程师，但活了这么大岁数，这种又不违背原则，又能让国家开心的事，怎么都是支持的。

“不过这事儿你们别着急，庞工你也要给郑叔说一声，咱们这个消息要先保密起来因为下个月半导体峰会就要召开了，现在初步想法是，等到半导体峰会结束之后再正式发布。”

“然后这段时间，你们看能不能抓紧时间进厂，把良率……”苏远山说着自己就愣了一下，随即不好意思地笑了起来：“哎呀，时间太紧了，估计来不及。”

梁孟松和庞克明相视一笑进厂的话，那这活儿就应该是他俩来干了。

从现在到五月十五号半导体峰会，满打满算都只有一个月挂零的时间，要在这么短的时间内完成拆装嗯，加班加点的话，也不是不行。但如果要正式投入使用，完善工艺和制程，那没有三五个月还真的是休想。

毕竟，这台浸润式duv光刻机，它理论上可以提供太多太多的可能的了。

“这样，大家还是先锦衣夜行一段时间，这段时间，大家好好休个假，放松放松。等到半导体峰会之后，我们再说。”

“那让上头验收的事？”

“这事我先去找领导商量商量别的人可以瞒，在沪市这地盘，领导可是不能瞒的。”

苏远山脑中浮现出领导圆乎乎的笑脸，不由自主地浮出了笑意。

来沪市，他怎么都要去领导那儿逛一圈的，而这事儿，领导显然也是必须知道的。

……