第三百八十四章 MOCVD（1/2）

第三百八十四章

目前，发展较好的宽禁带半导体主要是sic和gan这两种。

在燕大的半导体研究中心这，主要研究的宽禁带半导体对象是gan。

在gan基宽禁带半导体领域，该研究中心一直处于国内领先地位。

注册拥有的和gan宽禁带半导体有关的发明专利，多达二十多个。

包括gan基外延层的大面积、低功率激光剥离方法，铟镓氮单晶薄膜ocvd外延生长技术等等。

第三代宽禁带半导体拥有良好的物理化学性能，可应用在诸多的领域。

而现在，根据第三代半导体的发展情况，其主要应用为半导体照明、电力电子器件、激光器和探测器、以及其他4个领域。

各个领域产业成熟度各不相同。

但在前沿研究领域，宽禁带半导体还处于实验室研发阶段。

目前市面上主流的半导体，还是以第一代半导体和第二代半导体为主。

其原因嘛……

当然是第三代宽禁带半导体还有很多技术难题没有攻克。

燕大的半导体研究所正在进行的工作，就是全力攻克这些难题，早日实现第三代半导体技术的彻底成熟，应用于市场。

…………

宽禁带半导体实验室，顾律三人穿着深棕色的实验服，在张主任的带领下走进去。

实验室的面积很大。

将近有半个篮球场的大小。

一眼望去，可以看到实验室内数位研究员在各台仪器前紧张的忙碌着。

“主任好。”

“主任好。”

几位年轻的研究员助理见到张主任进来，客气的打招呼。

张主任点点头，然后摆摆手，“你们接着忙，接着忙。”

“我们先去ocvd那边吧。”张主任压低声音，询问顾律。

顾律点头一笑。

张主任带着顾律来到一台一个高的长方形设备面前。

“这个就是我们实验室的ocvd了！”张主任拍拍设备外面的铁壳，笑着为顾律介绍。

顾律上下打量了这台设备一番。

所谓的ocvd，是在气相外延生长的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。

该设备以3族、2族元素的有机化合物和v、6族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种3v主族、26副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

上面说的有些复杂。

简单来理解的话，就是通过这台ocvd设备，可以将有机化合物和氢化物，合称为实验室所需的gan宽禁带半导体。

这是一台生长宽禁带半导体的仪器。

顾律在国外见过这种设备。

不过国内和国外的ocvd系统是有些区别的。

因为ocvd系统最关键的问题就是保证材料生长的均匀性和重复性，所以国内和国外ocvd系统的主要区别在于反应室结构。

在国外，反应室结构大多采用‘turbodisc反应’，而国内则是采用‘行星反应’。